ZXL-830D型氦質(zhì)譜檢漏儀

一、產(chǎn)品介紹

ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。

二、主要技術(shù)指標(biāo)

1.最小可檢漏率：2×10-12Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.啟動時間：≤3min
4.響應(yīng)時間：≤1s
5.檢漏口的最高壓力：1500Pa
6.極限壓強：5×10-4Pa
7.電源要求：220V，50Hz，單相，10A
8.工作環(huán)境：5-35℃
9.相對濕度：≤80%
10.外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）
11.重量：65kg
三、主要配置

1.進(jìn)口檢漏儀專用分子泵
2.進(jìn)口干泵
3.配置標(biāo)準(zhǔn)漏孔
4.美國AD放大器
5.采用質(zhì)譜專用模塊
6.臺達(dá)觸摸彩屏