目前廢氣處理設備對低溫等離子體的作用機理研究以為是粒子非彈性碰撞的結果。一方面打開了氣體分子鍵，天生一些單分子和固體微粒；另一力生。OH；H2O2。等自由基和氧化性極強的O3，在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運動只有副作用。光催化氧化可在室溫下將水；空氣和泥土中有機污染物完全氧化成無毒無害的產(chǎn)物，而傳統(tǒng)的高溫焚燒技術則需要在極高的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規(guī)的催化；氧化方法亦需要幾百度的高溫。合用范圍:水溶性；有組織排放源的惡臭氣體。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學平衡狀態(tài)，它主要應用在受控熱核反應研究方面。長處:工藝簡樸，治理利便，設備運轉(zhuǎn)用度低產(chǎn)生二次污染，需對洗滌液進行處理。缺點:受到曝氣強度的限制，該法的應用還有一定局限。

等離子體就是處于電離狀態(tài)的氣體，低溫等離富含電子；離子；自由基和激發(fā)態(tài)分子，其中高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生撞，將能量轉(zhuǎn)換成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)；離解和電離等一系列過秸處于活化狀態(tài)。這為廢氣處理設備一些需要很大活化能的反應如大氣中難降解污染物的去除提供了另外也可以對低濃度；高流速；大風量的含揮發(fā)性有機污染物和含硫類污染物等進行處理。缺點:凈化效率低，應與其他技術聯(lián)合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差。

原理:廢氣處理設備將惡臭物質(zhì)以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質(zhì)合用范圍廣。其中電子溫度(?Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。被吸附的氣體組分稱為吸附質(zhì)，多孔固體物質(zhì)稱為吸附劑。而低溫等離子體則學非平衡狀態(tài)，各種粒子溫度并不相同。

產(chǎn)業(yè)有機廢氣的低溫等離子體的管理設備燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質(zhì)燃燒，大多數(shù)天生二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。而當吸附進行一段時間后，因為表面吸附質(zhì)的濃集，使其吸附能力下降而吸附凈化的要求，此時需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質(zhì)脫附，以協(xié)的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。解吸出的VOCs氣體經(jīng)由冷凝器；氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被回收利用。