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上海善策機械科技生產(chǎn)的ZKSG系列混合式除塵器成功運用于上海合晶硅材料有限公司。其單晶爐系列：TDR262A (B)、TDR280、TDR270A 等多種爐型近百臺產(chǎn)品都使用這種除塵器。實踐證明，它的主要優(yōu)點是除塵效率高，能適應(yīng)不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大。該除塵器綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、布朗擴散這幾種除塵機理。
在工業(yè)中使用除塵器收集灰塵已經(jīng)有了上百年的歷史，但是，到目前為止，還沒有一種不論在什么條件下都能夠圓滿解決問題的除塵器。因此，要根據(jù)不同的具體情況選擇設(shè)計適用的除塵設(shè)備。對塵埃問題，世界各真空設(shè)備公司都有各種性能要求和規(guī)格的除塵器、過濾器供用戶選擇。國內(nèi)還沒有專門生產(chǎn)性能規(guī)格齊全的除塵器、過濾器的工廠，大都由用戶自行設(shè)計加工。設(shè)計人員必須掌握除塵技術(shù)的基本知識，考慮許多技術(shù)經(jīng)濟因素才能滿足實際應(yīng)用的要求。
單晶爐是單晶體生長設(shè)備。單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應(yīng)能保證爐體內(nèi)熱真空度達5×1024mm 汞柱以上。如果使用惰性氣體作保護氣氛，爐體上、下都設(shè)有進出氣的氣口。生長單晶體時，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。
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